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Pulsed Sputter Epitaxy

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Fakultät für Naturwissenschaften

Institut für Physik

G16

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.:+49 391 6758674

Fax:+49 391 6748108

http://www.ifp.ovgu.de

physik@ovgu.de
Gerätebeschreibung
Pulsed Sputter Epitaxy of III-nitrides from metallic targets in a UHV Chamber with heated sample holder

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