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MOVPE

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Fakultät für Naturwissenschaften

Institut für Physik

G16

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.:+49 391 6758674

Fax:+49 391 6748108

http://www.ifp.ovgu.de

physik@ovgu.de
Gerätebeschreibung
AIXTRON 2004/4 rfs single wafer reactor for growth of group III-nitride semiconductors
In-situ curvature measurement
Pyrometric surface temperature control

Projekte

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