Grundlagenuntersuchungen zur Herstellung, Charakterisierung und Anwendung nanostrukturierter Dünnschicht-Feldemitter

Vorversuche haben gezeigt, daß nanostrukturierte Dünnschicht-Feldemitter aus hochschmelzenden Metallen hinsichtlich Stromdichte und Belastbarkeit als Elektronenquellen für stark wechselnde Vakuumbedingungen besonders effizient sind.Die Schwerpunkte im Forschungsprojekt sind:

• Grundlagenuntersuchungen zur Herstellung und Optimierung nanostrukturierter Dünnschicht-Feldemitter aus hochschmelzenden Metallen (zunächst ohne und später mit isolierenden Nanoschichten, vorrangig Aluminiumnitrid)
• Grundlagenuntersuchungen zur Charakterisierung der Elektronenemission von nanostrukturierten Dünnschicht-Feldemittern und Untersuchungen zur Stabilität der Feldemission unter veränderlichen Vakuumbedingungen (Druck, Gasart, Ionenbeschuß, Störfelder usw.)
• Untersuchung zum Einsatz von nanostrukturierten Dünnschicht-Feldemittern für vakuumelektronische und vakuummikroelektronische Anwendungen.
Durch die kostengünstige Herstellung von flächigen Feldemittern werden Innovationen für die industrielle Anwendung erwartet.