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Profil

Expertenprofil

Vakuumelektronik (Mikro- u. Nanoelektronik), Vakuumphysik, Vakuumtechnik und -technologien
  • Charakterisierung von Elektronen-Feldemittern (Carbon Nanotubes, DLC-Dünnschichten usw.)
  • Beschichtungstechnologien (PVD, CVD) zur Herstellung von nanostrukturierten Feldemittern
  • Elektronenquellenentw. mit flächigen Feldemittern und Emissionsströmen bis zu einigen mA
  • Applikationsforschung mit o.g. EQ (Röntgenquellen, Elektronenstrahltechnologien usw.)
  • Entw. u. Aufbau von HV- und UHV-Anlagen (Vakuummess- und versuchsstände, Ind. Vakuumlöten)
  • Vakuumtotal- und -partialdruckmessung, Messung von Gasabgabe- und Gettereigenschaften

Forschung • Schutzrechte

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Lizenzen

Publikationen

Top-5 Publikationen

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Publikationsliste

2017
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2016
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2015
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2014
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2012
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ältere
2008
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2005
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2004
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2003
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2002
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2000
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