Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von kristallinen Materialien mittels Rückstreuelektronenbeugung

Die Erfindung betrifft ein neuartiges Verfahren zur Erzeugung von Elektronenbeugungsmustern für bspw. Charakterisierungen der kristallographischen Eigenschaften, Texturanalysen oder Bestimmung von Verzerrungszuständen unter Verwendung von Detektoreinheiten und Analysesoftware, wobei für die Erzeugung und Beschleunigung der Elektronen der pyroelektrische Effekt genutzt wird. Die für die Elektronenerzeugung und -beschleunigung werden dabei pyroelektrische Materialien, wie beispielsweise LiTaO₃ oder LiNbO₃ genutzt. Als Proben oder Untersuchungsobjekte kommen grundsätzlich kristalline Materialien, vorzugsweise Metalle in Frage.