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Quantitative Analyse von Schichten
Finanzierung:
Industrie;
Mit Hilfe des Wirbelstromverfahrens werden leitfähige Schichten auf leitfähigem Substrat analysiert. Im Mittelpunkt stehen dabei die Dicke der Schicht und eventuell vorhandene Anomalien. Besonderer Wert wird auf die automatische Auswertung der Messdaten gelegt.

Schlagworte

Analyse, Schichten

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