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Messsystem zur online-Überwachung von Megasonic Reinigungsdüsen und Verfahrensentwicklung eines Messsystems zur Charakterisierung von Megasonic Systemen (PRO INNO II)
Projektleiter:
Burte, Edmund P.; Prof. Dr.
Projektbearbeiter:
M. Silinskas
Finanzierung:
Bund;
Im Rahmen der Forschungsarbeiten soll in enger Zusammenarbeit mit einem industrieellen Partner ein Reinigungssystem für die Halbleiterindustrie entwickelt werden, das den zukünftigen hohen Anforderungen an die Oberflächenreinigung von Silizium-Prozeßscheiben
  • höhere Reinigungswirkung
  • Abreinigung von Partikeln kleiner 0,1 µm
  • kürzere Prozesszeiten
gerecht wird. Dazu wird ein gesamtes Reinigungssystem entwickelt, in dem die Einzelkomponenten aus ganzheitlicher Sicht optimiert werden.

Schlagworte

Halbleitertechnologie, Reinigung, Reinigungseffiziens, Silizium
Kontakt
Prof. Dr. Edmund P. Burte

Prof. Dr. Edmund P. Burte

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Institut für Informations- und Kommunikationstechnik

Universitätsplatz 2

39106

Magdeburg

Tel.:+49 391 6758447

edmund.burte@ovgu.de

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