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Magdeburg

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Fax:+49 391 6712103

edmund.burte@ovgu.de

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Prof. Dr. Edmund P. Burte

Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte ist Inhaber des Lehrstuhls Halbleitertechnologie an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg. In seiner Forschung beschäftigt sich Prof. Burte mit der Entwicklung neuer Prozesse für die Halbleitertechnologie und der Verbesserung bereits bekannter Prozesse. Schwerpunkte bilden dabei die Reinigung von Silicium-Oberflächen und die Abscheidung dünner Schichten aus geeigneten gasförmigen Ausgangsprodukten. Die dabei gewonnenen Ergebnisse fließen u.a. ein in die Entwicklung neuer, schnellerer Speicherbauelemente mit geringerem Energiebedarf für zukünftige Rechnergenerationen, in die Entwicklung von Sensoren für die Gebäudeleittechnik, für die Verbesserung der Betriebsführung von Windenergieanlagen und für den Automobilbau.

Profil • Service

Vita

seit 1998

Professor für Halbleitertechnologie an der Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

1988 - 1998

Fraunhofer Gesellschaft Institut Integrierte Schaltungen IIS-B Erlangen

1984 - 1988

Semikron GmbH Nürnberg

1979 - 1984

Doktorand am Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente der FAU Erlangen Nürnberg

1975 - 1979

Studium Mathematik und Physik an der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen Nürnberg

Expertenprofil

  • Halbleitertechnologie
  • Photovoltaik
  • Sensorentwicklung für
  • automatisierte Gebäudeklimasteuerung
  • Personenerfassung mit Infrarot

Serviceangebot

Beratung, Projekte und Gutachten zum Themenbereich Halbleitertechnologie
  • Reinigungsprozesse an Siliciumoberflächen
  • Herstellung und Charakterisierung dünner Oberflächenschichten

Forschung • Schutzrechte • Kooperationen

Forschergruppen

Projekte

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Lizenzen

Kooperationsliste

  • bachmann monitoring GmbH Rudolstadt
  • Angaris, Halle
  • Dittrich Elektronik GmbH
  • Sentech Instruments GmbH
  • Lehrstuhl Anorganische Chemie(Prof. Frank T. Edelmann)
  • Siegert electronic GmbH
  • Universalbeschichtungen GmbH Wolfen

Publikationen

Top-5 Publikationen

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Publikationsliste

2017
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2016
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2015
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2014
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2013
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ältere
2012
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2011
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2010
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2009
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2008
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2007
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2006
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2005
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2004
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2000
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