Gasphasen-Nass-Reinigung von Siliciumoberflächen

Im Rahmen des Vorhabens soll untersucht werden, ob die Standardreinigungsfolge für Siliziumscheibenoberflächen bestehend aus:- Ammoniak-/Wasserstoffperoxid-Mischung (abgekürzt SC-1)- Reinstwasserspülen- Salzsäure-/Wasserstoffperoxid-Mischung (abgekürzt SC-2)- Reinstwasserspülendurch folgende Prozeßfolge in einer einzigen Prozeßkammer:- Begasen der Scheibenoberfläche mit feuchtem NH3-Gas und Ozon- Spülen mit Wasser und Ozon unter Einsatz von Megaschallenergie - Begasen der Scheibenoberfläche mit feuchtem HCl-Gas und Ozon- Spülen mit Wasser und Ozon unter Einsatz von Megaschallenergieersetzt werden kann.Die Scheibenoberflächen werden bezüglich der Dichten kationischer Kontaminationen und partikulärer Verunreinigungen vor und nach der Behandlung untersucht. Darüber hinaus wird eine Bewertung der Qualität der gereinigten Siliziumoberflächen anhand eines MOS Testprozesses durchgeführt. Auf diese Weise wird die Reinigungseffizienz ermittelt, die mit einem Standardreinigungsverfahren verglichen wird.