Technologiebewertung für die Aufbau- und Verbindungstechnik
Projektleiter:
Finanzierung:
Industrie;
Gegenstand der Vorhaben ist die Durchführung von Entwicklungsarbeiten auf dem Gebiet der hochauflösenden Fehleranalytik und grundlegender werkstoffmechanischer Untersuchungen, die gemeinsam mit Industriefirmen zur Entwicklung von neuen Packaging-Konzepten für mikroelektronische Baulemente beitragen. Dabei werden mikrostrukturelle Untersuchungen und mechanische Prüfungen an unterschiedlichen Packages der Aufbau- und Verbindungstechnik (SEM-EDX, FIB, EBSD, TEM) durchgeführt. Der Schwerpunkt der Untersuchungen liegt im Bereich von Flip Chip-in Package-Lösungen, bei denen die Zuverlässigkeit der bleifreien Lotkontaktierung gesichert werden muss.
Schlagworte
Aufbau- und Verbindungstechnik, Flip Chip, Fokussierende Ionenstrahltechnik (FIB), bleifreie Lote, hochauflösenden Fehleranalytik, mechanische Prüfung, mikroelektronische Bauelemente
Kontakt
Prof. Dr. Matthias Petzold
Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
Geschäftsfeld Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
Walter-Hülse-Straße 1
06120
Halle (Saale)
Tel.:+49 345 5589130
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