Integrierte elektrokeramische Funktionsstrukturen - Piezoelektrische mikro-elektromechanische Systemkomponenten und Sensorsysteme in Langasit für Hochtemperaturanwendungen
Projektleiter:
Projektbearbeiter:
Thomas Leneke
Finanzierung:
Das Vorhaben hat zum Ziel, mikro-elektromechanische Systemkomponenten auf der Basis von langasit für Einsatztemperaturen bis mindestens 900 °C zu entwickeln. Schwerpunkte liegen in der Optimierung und Erweiterung der bisher vorliegenden Biegeschwinger und membranen sowie im Aufbau von Arrays der zuvor genannten Komponenten. Weiterhin sind Bondprozesse zu entwickeln, die insbesondere die Schaffung von Kavitäten erlauben sollen. An der Universität Magdeburg erfolgen Entwurf und Realisierung der piezoelektrischen Strukturen. Dazu müssen die Strukturierungstechniken mit Ätzverfahren sowie Bond- und Wafertransferprozesse entwickelt werden.
Schlagworte
Bonden, Langasit, Mikrosystemtechnik, Ätzen
Kontakt

Prof. Dr. Bertram Schmidt
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Automatisierungstechnik
Universitätsplatz 2
39106
Magdeburg
Tel.:+49 391 6758589
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