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Fühlende Werkzeuge-Entwicklung eines neuartigen Sensorkonzeptes für Werkzeuge der Ultrapräzisionsbearbeitung von optischen und Halbleitermaterialien
Finanzierung:
Land (Sachsen-Anhalt) ;
Ziel dieses Forschungsvorhabens ist die Entwicklung eines Werkzeugkonzeptes, welches die Steuerung des Polierdruckes auf optischen Oberflächen bzw. Halbleitermaterialien automatisiert. Ergebnis sind intelligente Werkzeuge, die Parameter ihrer Umgebung erkennen und sich diesen anpassen können. Durch Integration von Sensoren und Aktoren werden die mechanischen und/oder thermischen Parameter aufgenommen und mögliche Abweichungen von definierten Grenzwerten analysiert. Bei Überschreitung der Grenzwerte initieren die Aktoren über elektronische Steuersysteme eine Veränderung am Werkzeug und regeln die Parameter in Richtung Sollwert.Der neuartige Lösungsansatz basiert auf der in-process Erfassung der Druckkräfte beim direkten Kontakt von Werkstück (z. B. Linse) und Werkzeug (z. B. Polierschale). Aus einem Verbund verschiedenartiger Folienmaterialien werden Werkzeuge, die sich durch hohe Steifigkeit und stabile Messwerterfassung auszeichnen, mittels generativer Rapid Prototyping Technologien erzeugt und die notwendige Sensorik integriert.

Schlagworte

Adaptronik, Rapid-Prototyping, Sensorik, optische Funktionsflächen
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