Entwicklung innovativer Diagnoseverfahren für die Qualitätssicherung komplexer Systemaufbauten (PIDEA INDIKOS)

Das Ziel im Verbundvorhabens Fehlersuche und Fehleranalyse in komplexen Systemen der Mikro- und Nanoelektronik (FULL CONTROL) besteht in der Entwicklung einer leistungsfähigen, durchgehenden und aufeinander abgestimmten methodischen Prozesskette für die Analytik und Materialbewertung in komplex integrierten Mikrosystemen (Heterogene Systemintegration, 3D System-in-Package -Lösungen). In enger Zusammenarbeit von Geräteherstellern und Herstellern von Mikrosystemen und zugehöriger mikroelektronischer Komponenten sollen neue für die Fehlerdiagnostik, Qualitäts- und Zuver-lässigkeitssicherung benötigte Untersuchungsverfahren und die zugehörige Gerätetechnik entwickelt und für neue Bauelemente angewandt werden. Einen Schwerpunkt für das Teilvorhaben Entwicklung inno-vativer Diagnoseverfahren für die Qualitätssicherung komplexer Systemaufbauten (INDIKOS) bilden Arbeiten zur Weiterentwicklung der Fehlerlokalisierung mittels Lock in-Thermographie, von Ionenstrahl-techniken zur Zielpräparation, von neuen Analyseverfahren auf der Basis von hochauflösenden ionen- und elektronenoptischen Techniken (FIB/TEM, EBSD) für die Grenzflächenanalytik im Mikro-/Nano-Übergangsbereich, sowie zur Erfassung von Materialkennwerten. Das Vorhaben soll als PIDEA-Projekt in einer deutsch-französischen Kooperation bearbeitet werden.