Entwicklung eines hochtemperaturfesten TCO zur Anwendung in HT-APCVD Prozessen

Dünnschichtsolarzellen benötigen in der Regel aus funktionalen Gründen auf der der Sonne zugewandten Seite eine dünne transparente und elektrisch leitfähige Schicht. Diese Schichten bestehen in entweder aus Indium oder Zinkoxid und werden unter dem Begriff transparent conductive oxides (TCO) zusammengefasst. Im Vorhaben soll eine geeignete TCO-Schicht für Hochtemperaturprozesse mit Substrattemperaturen bis und über 600°C entwickelt werden.