Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid
Projektleiter:
Projektbearbeiter:
Dr.-Ing. Anatoliy Batmanov,
Dr. rer. nat. Mindaugas Silinskas
Projekthomepage:
Finanzierung:
Ziel des Forschungsvorhabens ist es, dünne Schichten aus Germanium-Antimon-Tellurid mittels Atomlagenabscheidung (ALD) unter Verwendung von halogenfreien metallorganischen Germanium-, Antimon- und Tellurverbindungen aus der Gasphase bei moderaten Temperaturen abzuscheiden und diese Schichten strukturell und elektrisch hinsichtlich des Phasenüberganges zu charakterisieren. Darüber hinaus sollen Phasenwechsel-Speicherbauelemente hergestellt und untersucht werden.
Schlagworte
Atom, Phasenübergang
Publikationen
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Kontakt
Prof. Dr. Edmund P. Burte
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Mikro- und Sensorsysteme
Universitätsplatz 2
39106
Magdeburg
Tel.+49 391 6758398
Fax:+49 391 6712103
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