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Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid
Projektbearbeiter:
Dr.-Ing. Anatoliy Batmanov, Dr. rer. nat. Mindaugas Silinskas
Finanzierung:
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) ;
Ziel des Forschungsvorhabens ist es, dünne Schichten aus Germanium-Antimon-Tellurid mittels Atomlagenabscheidung (ALD) unter Verwendung von halogenfreien metallorganischen Germanium-, Antimon- und Tellurverbindungen aus der Gasphase bei moderaten Temperaturen abzuscheiden und diese Schichten strukturell und elektrisch hinsichtlich des Phasenüberganges zu charakterisieren. Darüber hinaus sollen Phasenwechsel-Speicherbauelemente hergestellt und untersucht werden.

Schlagworte

Atom, Phasenübergang

Publikationen

2017
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