Puls-Arc-Verfahren für industrielle Beschichtungsanlagen
Projektleiter:
Finanzierung:
Bund;
Dieses Verbundprojekt besitzt als Gesamtziel die Schaf-fung einer industriell einsetzbaren techni-schen Basis zur Erweiterung des Einsatzbe-reiches des Puls-Arc-Verfahrens auf Anlagen mit mehre-ren Verdampfern und die Er-arbeitung von darauf aufbauenden technologischen Lösungen.Als technologische Schwerpunkte sind die Verringerung der nachteiligen Dropletemis-sion der Verdampfer (insbesondere bei Al-hal-tigen Targets), die Verbesserung der Schichteigenschaften und der Leistungsfähigkeit der Schichten, die Erhöhung der Ab-scheiderate, eine deutliche Verkürzung der Beschichtungszeit und eine Erhöhung der Prozeßsicherheit zu nennen.
Anmerkungen
Projektleiter: Prof. Dr.-Ing. habil. Hubert Mecke
Schlagworte
Impulsverteilung, Mehrverdampferanlage, Schichtqualität
Kontakt
Prof. Dr.-Ing. Andreas Lindemann
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Elektrische Energiesysteme
Universitätsplatz 2
39106
Magdeburg
Tel.:+49 391 6758594
weitere Projekte
Die Daten werden geladen ...