MEMS-Komponenten für die breitbandige HF-Datenübertragung

Micro-Electro-Mechanical-Switches (MEMS), mechanische Schalter mit Abmessungen im Mikrometerbereich, werden mit Hilfe elektrostatischer Kräfte betätigt. Wegen ihrer Grösse lassen sich MEMS-Elemente mit Halbleiterbauelementen integrieren. Sie bieten einen rauscharmen Ersatz für Halbleiterschalter. Ausgewählte MEMS-Strukturen werden modelliert, hergestellt, gemessen und in HF-Schaltungen integriert. Die Modellierung umfasst geeignete HF-Ersatzschaltbilder, elektromechanische Modelle für den Betätigungsmechanismus sowie Rauschmodelle. Die MEMS-Elemente werden im Reinraum der Universität hergestellt. Die erzielten Modelle werden messtechnisch verifiziert. Abstimmbare Filter, VCO"s sowie steuerbare Gruppenstrahler, die MEMS-Elemente verwenden, werden aufgebaut und gemessen.