Vakuummessgerät

Technologieangebot
Für die Patentanmeldung Vakuummessgerät sucht die ESA Patentverwertungsagentur Sachsen-Anhalt GmbH einen Kooperationspartner, Lizenznehmer oder Käufer. Angesprochen sind Vakuumtechnik-Hersteller, insbesondere auf Vakuummessgeräte spezialisierte Produzenten.

Gegenstand der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein Vakuummessgerät, bestehend aus einem in einer gemeinsamen Messröhre angeordneten Kaltkathoden-Ionisationsmanometer vom inversen Magnetrontyp und einem Wärmeleitungsmanometer (auch als Piranimanometer bekannt).
Das neue Vakuummessgerät wurde mit dem Ziel entwickelt, unter Beibehaltung des großen Messbereichs eine reduzierte Kontaminationsrate und damit eine wesentlich längere Lebens-dauer zu erreichen. Als Kaltkathoden-Ionisationsmanometer wird ein ebenfalls patentiertes Messgerät der Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg verwendet (DE 102 43 634). Dieses Ionisationsmanometer wird mit einem Wärmeleitungsmanometer kombiniert, das im gemeinsamen Gehäuse angeordnet ist.
Das Vakuummessgerät ist durch eine Messröhre gekennzeichnet, die mit zwei Kathoden K1 und K2 und einer Anode A ausgestattet ist. Durch eine separate Spannungszuführung zu den beiden Kathoden wird erreicht, dass zwischen den Kathoden und ihrer gemeinsamen Anode zwei voneinander unabhängige Gasentladungen gezündet werden. Das Messröhrengehäuse MG ist von einem oder mehreren Ringmagneten M umgeben, die ein Magnetfeld für die Kaltkathodenentladungen sowohl in der Messkammer als auch in der Reinigungskammer erzeugen. Die direkt am Messröhreneingang MOE lokalisierte Entladung dient zur Gasreinigung (Reinigungskammer RK). Das Plasma, das in der Reinigungskammer RK brennt, schützt das innere Plasma, das im Bereich der Messkammer MK brennt, welche die eigentliche Messstelle darstellt, weitestgehend vor störenden Kontaminationen durch kondensierbare Dämpfe. Dies verhindert insbesondere Ablagerungen von unerwünschten Kohlenstoffschichten in der Messkammer MK. Das Heizelement H wird als Wärmeleitungsmanometer benutzt.
Durch die konstruktive Gestaltung der Messröhre mit Reinigungs- und Messkammer und durch eine Optimierung der Betriebsparameter wird eine minimale Kontaminationsrate ermöglicht. Das Wärmeleitungsmanometer ist in einem Bereich der Messröhre angeordnet, der infolge der Wirkung der Entladungsstrecken des Kaltkathoden-Ionisationsmanometers weitgehend kontaminationsfrei ist. Mit dem patentierten Messkonzept kann die Kontaminationsrate um einen Faktor von mindestens 3,5 … 4 verringert und damit die Einsatzdauer des Vakuummessgerätes um diesen Faktor vergrößert werden.

Das neuartige Vakuumessgerät kann mit üblichen Flanschverbindungen für unterschiedliche Druckbereiche in industriellen Vakuumanlagen verwendet werden. Ein weiteres Einsatzgebiet sind Beschleunigeranlagen, wo ebenfalls ein Bedarf an Druckmessgeräten mit weitem Messbereich, großer Zuverlässigkeit und langer Standzeit besteht.

Ein deutsches Patent ist erteilt (DE 10 2007 001 444).