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Puls-Arc-Verfahren für industrielle Beschichtungsanlagen
Finanzierung:
Bund;
Dieses Verbundprojekt besitzt als Gesamtziel die Schaf-fung einer industriell einsetzbaren techni-schen Basis zur Erweiterung des Einsatzbe-reiches des Puls-Arc-Verfahrens auf Anlagen mit mehre-ren Verdampfern und die Er-arbeitung von darauf aufbauenden technologischen Lösungen.Als technologische Schwerpunkte sind die Verringerung der nachteiligen Dropletemis-sion der Verdampfer (insbesondere bei Al-hal-tigen Targets), die Verbesserung der Schichteigenschaften und der Leistungsfähigkeit der Schichten, die Erhöhung der Ab-scheiderate, eine deutliche Verkürzung der Beschichtungszeit und eine Erhöhung der Prozeßsicherheit zu nennen.

Anmerkungen

Projektleiter: Prof. Dr.-Ing. habil. Hubert Mecke

Schlagworte

Impulsverteilung, Mehrverdampferanlage, Schichtqualität
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