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Elektrische und strukturelle Charakterisierung von Blöcken und Wafern aus kristallinem Silizium - Entwicklung eines integrierten Ansatzes
Projektleiter:
Projektbearbeiter:
Jan Lich, Marcus Oswald, Heiko Wust
Finanzierung:
Fördergeber - Sonstige;
Es soll in einem integrierten Ansatz, unter Verwendung eines neuen Messverfahrenssowie neuer Ausgangsmaterialien ein direkter Zusammenhang hergestellt werdenzwischen der für Solarzellen relevanten Materialqualität im Kristallblock und dendaraus hergestellten Wafern. Durch eine gezielte Messung von Lebensdauern amBlock nach einem neuen Verfahren soll ein möglichst frühzeitiges Erkennen von Kristallbereichenerreicht werden, aus denen keine guten Wafer hergestellt werdenkönnen. Dieses Material kann demzufolge vor dem Waferingprozess bereits ausgesondertund einem Recyclingprozess zugeführt werden. Dies erhöht die Materialausbeuteund reduziert insgesamt die Waferherstellungskosten. Ein solcher integrierterAnsatz ist insbesondere bei neuartigem, stärker verunreinigtem, kostengünstigerem Silizium sehr wichtig und kann im Erfolgsfalle in einem späteren Schritt auch auf die prozessbegleitende Charakterisierung des Materials bis hin zur Solarzelle erweitert werden.

Schlagworte

Charakterisierung, Silizium, Wafer
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