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Analyse der Gasphasenvorgänge in Niedertemperatur-Plasmen zur Modifizierung flexibler Substrate
Finanzierung:
EU - EFRE Sachsen-Anhalt ;
 
EUROPÄISCHE UNION - EFRE -  Europäischer Fonds für regionale Entwicklung
  • Test von optischen, massenspektroskopischen Diagnostikmethoden zur Gasphasenanalyse von Niedertemperatur-Plasmen
  • Etablierung von in-situ-Prozessüberwachungsmethoden bzw. einer Prozessendpunktkontrolle bei der Plasmatexturierung von flexiblen Wafern
  • Ableitung eines Zeitmodells der Oberflächenmodifizierung von Verpackungsfolien in Abhängigkeit von Postplasma-Lagerungsbedingungen

Schlagworte

Gasphasenanalyse, Oberflächenmodifizierung, Plasmen
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