Entwicklung von piezoelektr. Spiralfedern für die Anwendung in einer Uhr

Si basierte Spiralfedern werden in der metallorganischen Gasphasenepitaxie mit AlN bewachsen. Darauf folgt eine Prozesierung und Kontaktierung der innenliegenden Spiralfederflächen um so die induzierte Piezospannung als energiequelle zu nutzen.

Development of piezoelectric coil springs for use in a watch

Si-based spiral springs are grown with AlN in metal-organic vapor phase epitaxy. This is followed by processing and contacting of the internal spiral spring surfaces in order to utilize the induced piezo voltage as an energy source.