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Versuche zur AlN Beschichtung auf Silizium in 3 Dimensionen
Projektleiter:
apl. Prof. Dr. Armin Dadgar
Finanzierung:
Industrie;
Metallorganische Gasphasendeposition (MOCVD) von Aluminium-Nitrid (AlN) auf dreidimensionalen Siliziumoberflächen. Dazu wird ein neues Abscheidekonzept Entwickelt um rissfreie Schichten zu erzielen.
Kontakt

apl. Prof. Dr. Armin Dadgar

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Fakultät für Naturwissenschaften

Institut für Physik

Universitätsplatz 2

39106

Magdeburg

Tel.:+49 391 6751384

armin.dadgar@ovgu.de

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