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Das nichtgravimetrische Verhalten von Quarzresonatoren für Sensoranwendungen
Projektbearbeiter:
Carsten Behling
Finanzierung:
Haushalt;
Diese Arbeit präsentiert Untersuchungen zu Verhalten von Quarzresonatoren und ihre Anwendung als Sensor. Ein eindimensionales Modell wurde für die Charakterisierung der Sensoreigenschaften im Falle viskoelastischer Beschichtungen entwickelt. Das elektrische Verhalten des Resonators sowie die akustische Last durch eine Einzelschicht oder ein Mehrschichtsystem wurden untersucht.

Schlagworte

Quarzresonator, Sensor
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