Messsysteme und -verfahren zu großflächigen optischen Prozessüberwachung in der Glas- und Beschichtungsindustrie
Projektleiter:
Projekthomepage:
Finanzierung:
Erforschung neuartiger Messverfahren zur Bewertung der optischen und elektro-optischen Schichteigenschaften
großflächige und zerstörungsfreie Dünnschichtcharakterisierung durch extrem homogene und spektral selektive LED-Beleuchtungseinheiten
wellenlängenaufgelöste Inspektion durch Hyperspektralabbildung sowie ellipsometrische Messverfahren und optische Transmission/Reflexionsmessung an Großformaten
großflächige und zerstörungsfreie Dünnschichtcharakterisierung durch extrem homogene und spektral selektive LED-Beleuchtungseinheiten
wellenlängenaufgelöste Inspektion durch Hyperspektralabbildung sowie ellipsometrische Messverfahren und optische Transmission/Reflexionsmessung an Großformaten
Schlagworte
Dünnschichtcharakterisierung, elektro-optische Schichteigenschaften, ellipsometrische Messverfahren
Kontakt
Dr. Paul-Tiberiu Miclea
Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP
Otto-Eißfeldt-Straße 12
06120
Halle (Saale)
Tel.:+49 345 55895413