Messsysteme und -verfahren zu großflächigen optischen Prozessüberwachung in der Glas- und Beschichtungsindustrie
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Finanzierung:
![EUROPÄISCHE UNION - EFRE EUROPÄISCHE UNION - EFRE - Europäischer Fonds für regionale Entwicklung](/static/img/EFRE_rgb_print_320x55.jpg?v=0a190b6b3622eff8393d35baacde326d)
Erforschung neuartiger Messverfahren zur Bewertung der optischen und elektro-optischen Schichteigenschaften
großflächige und zerstörungsfreie Dünnschichtcharakterisierung durch extrem homogene und spektral selektive LED-Beleuchtungseinheiten
wellenlängenaufgelöste Inspektion durch Hyperspektralabbildung sowie ellipsometrische Messverfahren und optische Transmission/Reflexionsmessung an Großformaten
großflächige und zerstörungsfreie Dünnschichtcharakterisierung durch extrem homogene und spektral selektive LED-Beleuchtungseinheiten
wellenlängenaufgelöste Inspektion durch Hyperspektralabbildung sowie ellipsometrische Messverfahren und optische Transmission/Reflexionsmessung an Großformaten
Schlagworte
Dünnschichtcharakterisierung, elektro-optische Schichteigenschaften, ellipsometrische Messverfahren
Kontakt
Dr. Paul-Tiberiu Miclea
Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP
Otto-Eißfeldt-Straße 12
06120
Halle (Saale)
Tel.:+49 345 55895413