Hochpräzise fs-Laserstrukturierung von Multimaterialsystemen

Ziel dieses Projektes ist es, die bereits bei der Strukturierung von Si- und TCO-Schichten gewonnenen Erkenntnisse zur Ablation mit ultrakurzen Pulsen zu verallgemeinern und auf eine quantitative Basis zu stellen, so dass ein breiteres Spektrum an Materialien und Mehrfachschichtsystemen auf diese Weise bearbeitet werden kann. Dazu sollen spezielle Mittel der räumlichen Strahl- und zeitlichen Pulsformung eingesetzt werden. Gezielte zeitaufgelöste Experimente sollen die Grundlage für ein allgemeines quantitatives Modell der Femtosekunden-Laserablation bilden, so dass gezielte Vorhersagen für sinnvolle Ablationsparameter an neuen Materialien gemacht werden können. Die wellenlängenspezifische Absorption der Materialien soll eingesetzt werden, um gezielt Einzelschichten bzw. Schichtverbünde in Mehrfachschichtsystemen abzusprengen und so das Verfahren der eingeschlossenen Laserablation mit ultrakurzen Pulsen als schädigungsarme, flexible Materialbearbeitungsmethode zu etablieren.