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2-step surface modification technology for acoustic chemical sensor arrays based on CMUTs
Li, Yingchun ; Lucklum, Ralf ; Hauptmann, Peter
2008 IEEE Ultrasonics Symposium proceedings. - Piscataway, NJ : IEEE, S. 1030-1033; Kongress: IUS; (Beijing) : 2008.11.02-05
Bibliographie: Originalartikel in begutachteter zeitschriftenartiger Reihe Link
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