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A silicon test chip for the thermomechanical analysis of MEMS packagings
Majcherek, Sören ; Leneke, Thomas ; Hirsch, Sören
Microsystem technologies. - Berlin : Springer, insges. 10 S., 2008
Impact : 0.912
Bibliographie: Originalartikel in begutachteter internationaler Zeitschrift Link 17 Zitationen
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