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Publikation

Mems compatible PZT arrays for ultrasonic applications on 3 dimensional carriers

Schimpf, Stefan ; Schmidt, Bertram
2008 IEEE International Frequency Control Symposium ; tutorials-May 18, 2008; symposium May 19-21. - [Piscataway, NJ] : IEEE, S. 127-131; Kongress: IEEE-FCS; 62 (Honolulu, Hawaii, USA) : 2008.05.19-21[Beitrag auf CD-ROM]
Bibliographie: Originalartikel in begutachteter zeitschriftenartiger Reihe Link
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