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Influence of the Mobility of Pt Nanoparticles on the Anisotropic Etching Properties of Silicon
Li, Xiaopeng ; Xiao, Yanjun ; Yan, Chenglin ; Zhou, Keya ; Schweizer, Stefan L. ; Sprafke, Alexander ; Lee, Jung-Ho ; Wehrspohn, Ralf B.
ECS solid state letters: SSL - Pennington, NJ: ECS, Bd. 2.2013, 2, S. 22-24;
Bibliographie: Artikel in Zeitschrift Link 18 Zitationen
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