« Projekte
Sie verwenden einen sehr veralteten Browser und können Funktionen dieser Seite nur sehr eingeschränkt nutzen. Bitte aktualisieren Sie Ihren Browser. http://www.browser-update.org/de/update.html
Ultrahochreines Pentachlordisilan: Technologischer Prozess und Methode zur Spurenanalytik (SilaTrace)
Projektleiter:
Dr. Sylke Meyer
Projekthomepage:
http://www.imws.fraunhofer.de/de/landesprojekte/ultrachochrein-pentachlordisilan-precursor.html
Finanzierung:
EU - EFRE Sachsen-Anhalt ;
 
EUROPÄISCHE UNION - EFRE - Europäischer Fonds für regionale Entwicklung
Gemeinschaftsvorhaben von PSC und Fraunhofer CSP
  • Hochreines Pentachlordisilan (PCDS) als attraktives Produkt für die Mikroelektronik-Industrie: Für neue Technologiegenerationen in der Mikroelektronik   werden innovative Precursoren zur Abscheidung von Siliziumschichten bei sehr niedrigen Temperaturen benötigt.
  • Entwicklung eines kostengünstigen Herstellungsprozesses: AP 1-5: PSC Polysilane Chemistry GmbH
  • Bereitstellung einer zuverlässigen Analytik: AP 6-10: Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP

Schlagworte

Pentachlordisilan, Siliziumschichten

Kooperationen im Projekt

Kontakt

Dr. Sylke Meyer

Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP

Siliziumwafer

Otto-Eißfeldt-Straße 12

06120

Halle (Saale)

Tel.:+49 345 55895116

sylke.meyer@imws.fraunhofer.de

weitere Projekte

Die Daten werden geladen ...