Grundlagenuntersuchungen von Kohlenstoff-Elektronenquellen (Feldemittern) für vakuummeßtechnische und vakuummikroelektronische Anwendungen
Projektleiter:
Projektbearbeiter:
Diplomphysiker Detlef Schleußner
Finanzierung:
Feldemitter aus neuartigen Kohlenstoff-Werkstoffen (C-Fasern, Nanotubes, Diamantartige Schichten) sind hinsichtlich Stromdichte und Belastbarkeit für stark wechselnde Vakuumbedingungen besonders effizient.Die Schwerpunkte im Forschungsprojekt sind:1. Untersuchungen zur Stabilität der Feldemission von "Gated Diamond Arrays" und Nanotubes unter veränderlichen Vakuumbedingungen (Druck, Gasart, Ionenbeschuß, Störfelder usw.),2. Untersuchungen zum Einsatz von Kohlenstoff-Feldemittern in Sensoren zur Vakuumdruckmessung (Ionisationsmanometer, Membranmanometer u.a.),3. Auswertung der unter 1. und 2. erzielten Ergebnisse zur Anwendung in der Vakuummikroelektronik.Die Bearbeitung des Forschungsprojektes erfolgt im Rahmen einer internationalen Forschungskoordinierung, dem Europaen Science Foundation (ESF) Network No. 77 "Field Emission Technologies (EuroFE)", dessen Coordination Committee der Projektleiter als ein Vertreter für die BR Deutschland angehört.
Schlagworte
Carbon Feldemitter, Feldemitterarray, Vakuummikroelektronik
Kontakt
Dr.-Ing. Wolfram Knapp
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Institut für Fertigungstechnik und Qualitätssicherung
Universitätsplatz 2
39106
Magdeburg
Tel.:+49 391 6752505
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