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Entwicklung von piezoelektr. Spiralfedern für die Anwendung in einer Uhr

Finanzierung:
Fördergeber - Sonstige;
Si basierte Spiralfedern werden in der metallorganischen Gasphasenepitaxie mit AlN bewachsen. Darauf folgt eine Prozesierung und Kontaktierung der innenliegenden Spiralfederflächen um so die induzierte Piezospannung als energiequelle zu nutzen.

Schlagworte

AlN MOVPE

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