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Detailbild zu :  Stressmessgerät (Reinraum Halbleitertechnologie)

Stressmessgerät (Reinraum Halbleitertechnologie)

G 10

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.+49 391 6758398

Fax:+49 391 6712103

Gerätebeschreibung
Das Tencor FLX 2320 Stressmessgerät berechnet Spannungen in dünnen Schichten durch die Messung von Durchbiegungsänderungen vor und nach der Schichtabscheidung. Die Software kann je nach Signalstärke automatisch zwischen Lasern mit zwei verschiedenen Wellenlängen umschalten, um auch teilweise transparente Schichten messen zu können. Neben zeitabhängigen Messverläufen können auch Messungen mit Temperaturprofilen bis zu 450 °C durchgeführt werden. Damit ist bei Materialsystemen auch die Berechnung der thermischen- und intrinsischen Schichtspannungen, sowie die Berechnung der E-Module unbekannter Schichten möglichen.

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