« Infrastruktur: Geräte
Sie verwenden einen sehr veralteten Browser und können Funktionen dieser Seite nur sehr eingeschränkt nutzen. Bitte aktualisieren Sie Ihren Browser. http://www.browser-update.org/de/update.html
Detailbild zu :  Rasterelektronenmikroskop REM (Reinraum Halbleitertechnologie)

Rasterelektronenmikroskop REM (Reinraum Halbleitertechnologie)

G 10

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.+49 391 6758398

Fax:+49 391 6712103

Gerätebeschreibung
Das Jeol SEM 5900 Rasterelektronenmikroskop wird zur Inline-Strukturuntersuchung auf Siliziumwafern im Reinraum eingesetzt. Als Kathoden stehen eine Wolframdraht-Kathode, sowie eine LaB6 zur Verfügung. Neben den normalen bildgebenden Untersuchungsverfahren ist eine ortsaufgelöste Materialanalyse mit einem integrierten Bruker Nano EDX möglich. Zur Herstellung besonders feiner Strukturen im Bereich von 50nm können Elektronenstrahl-Belichtungsprozesse mit einem Raith Elphy Modul durchgeführt werden. Die Strukturierung erfolgt mit Hilfe der Standard Prozessanlagen im Reinraum.

Weitere Geräte dieser Struktur