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Detailbild zu :  Belichtungsanlage MA6 (Reinraum Halbleitertechnologie)

Belichtungsanlage MA6 (Reinraum Halbleitertechnologie)

G 10

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.+49 391 6758398

Fax:+49 391 6712103

Gerätebeschreibung
Der Proximity Mask Aligner Süss MA6 wird zur Belichtung von mit Photoresist beschichteten Wafern eingesetzt. Zusammen mit der Belackungsanlage Süss RC8 und der nasschemischen Entwicklerstrecke werden Strukturen der Masken auf die Oberfläche der Wafer bzw. darauf befindlicher Funktionsschichten übertragen. Die erzielbare Auflösung in Abhängigkeit verschiedener Resistarten und Schichtdicken liegt bei ca. 2 µm. Zur Herstellung von zueinander justierten Strukturen auf Vorder- und Rückseite der Wafer verfügt die Belichtungsanlage über Rückseitenjustierung.

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